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阿斯麥研發下一代極紫外光刻機 預計2022年年初開始出貨

2020-03-17 11:03:16  來源:TechWeb

3月16日消息,據國外媒體報道,在推出兩代極紫外光刻機之后,阿斯麥公司又已在研發下一代極紫外光刻機,計劃2022年年初開始出貨。

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阿斯麥是在2019年的年報中,披露他們正在研發下一代極紫外光刻機的,計劃在2022年年初開始出貨,2024/2025年大規模生產。

在年報中,阿斯麥還披露,他們正在研發的下一代極紫外光刻機,將采用 High-NA技術,有更高的數值孔徑,分辨率和覆蓋能力較他們當前的極紫外光刻機將提高70%。

光刻機是芯片生產中非常關鍵的設備,在工藝提升到7nm EUV、5nm之后,已只有極紫外光刻機能滿足要求,阿斯麥則是目前唯一能制造極紫外光刻機的廠商。

阿斯麥所生產的極紫外光刻機,光源的波長縮短到了13.5nm,而極紫外光刻機之前最先進的深紫外光刻機,使用的則是波長為193nm的光源。

作為目前全球唯一有能力制造極紫外光刻機的廠商,阿斯麥已經推出了兩款極紫外光刻機,分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C,可用于生產7nm和5nm的芯片,后者是最新推出的,去年共交付了9臺。

阿斯麥的年報顯示,他們去年共向客戶交付了26臺極紫外光刻機,較2018年的18臺增加了8臺,帶來了27.997億歐元(折合約31.43億美元)的營收。

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